멜렉시스(Melexis)는 높은 감도와 강력한 선형성을 결합한 압력 센서 2종을 새롭게 출시했다고 밝혔다. AEC-Q100 요구사항을 초과 달성한 MLX90815 및 MLX90816은 까다로운 동작 환경에서 절대 압력을 측정하기 위한 디스크리트 MEMS(micro-electro-mechanical) 디바이스이다. MLX90815는 0 ~ 30 절대 바(bar) 압력을 결정할 때 최적의 성능을 제공하도록 설계됐으며, MLX90816은 30 ~ 50 절대 바 범위의 풀스케일 압력을 지원한다. 두 디바이스는 모두 단 0.2% FS의 선형성에서 최대 편차를 갖는다. MLX90815의 일반 감도는 1.5mV/V/bar이고, MLX90816는 0.5mV/V/bar이다.

이들 MEMS 디바이스에 모두 통합된 센서 소자는 미세 가공된 실리콘 압력 막에 연결된 압전저항 휘스톤 브리지로 구성되며, 멜렉시스의 독자적인 고유 공정 기술로 제작됐다. 압력이 박막에 가해지면 차동 전압 변화가 휘스톤 브리지의 출력에 발생하고 바이어스 전압이 브리지 출력에 인가된다.

MLX90815 및 MLX90816 압력 센서는 출력 신호 컨디셔닝을 위해 멜렉시스의 고성능 센서 인터페이스 칩(MLX90320 등)으로 지원할 수 있다. 이들 센서는 다양한 차량용 압력 모니터링 애플리이션은 물론 산업 공정 제어, 가정용 전자제품, 의료 장비, 소비자 가전에 적합하다.

-40°C ~ 150°C 온도 범위에서 동작하는 MLX90815 및 MLX90816은 극한 동작 조건에서도 안정적인 동작을 유지할 수 있다. 이들 디바이스는 기존의 비부식성/비자극성 매체에 직접 사용하거나 견고성을 높일 수 있도록 오일 압력 센서 모듈에 통합할 수 있다.